发明名称
摘要
申请公布号 JP2928854(B2) 申请公布日期 1999.08.03
申请号 JP19890343581 申请日期 1989.12.28
申请人 KASHIO KEISANKI KK 发明人 WAKAI HARUO
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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