| 发明名称 |
METHOD FOR PEELING OFF SUBSTRATE SURFACE AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11209886(A) |
申请公布日期 |
1999.08.03 |
| 申请号 |
JP19980287107 |
申请日期 |
1998.10.08 |
| 申请人 |
RECH & DEV DU GROUP COCKERILL SAMBRE |
发明人 |
VANDEN BRANDE PIERRE;WEYMEERSCH ALAIN |
| 分类号 |
C23C14/02;C23F4/00;C23G5/00;H01J37/34;(IPC1-7):C23G5/00 |
主分类号 |
C23C14/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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