发明名称 |
GAS EXHAUSTING LINE OF SEMICONDUCTOR FABRICATION APPARATUS |
摘要 |
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申请公布号 |
KR100211656(B1) |
申请公布日期 |
1999.08.02 |
申请号 |
KR19960023545 |
申请日期 |
1996.06.25 |
申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. |
发明人 |
LEE, YEON-HWI |
分类号 |
H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
H01L21/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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