| 发明名称 |
APPARATUS FOR CLEANING SEMICONDUCTOR WAFER WITH PURE WATER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100211642(B1) |
申请公布日期 |
1999.08.02 |
| 申请号 |
KR19960000826 |
申请日期 |
1996.01.17 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
KIM, SUNG IL |
| 分类号 |
H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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