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发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURE SYSTEM AND ITS CONTROL METHOD
摘要
申请公布号 KR100211639(B1) 申请公布日期 1999.08.02
申请号 KR19950051456 申请日期 1995.12.18
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 LEE, JUNG-HEE;OEUM, HYUN-IL
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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