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发明名称 A CONDENSING APPARATUS AND A METHOD OF CHEMICAL FOR SEMICONDUCTOR PROCESS
摘要
申请公布号 KR100211672(B1) 申请公布日期 1999.08.02
申请号 KR19960060024 申请日期 1996.11.29
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 HUH, YONG-WOO;LIM, HEOUNG-BIN;SONN, BYUNG-WOO;LEE, MI-KYUNG
分类号 G01N1/36;B01D3/00;B01D3/34;G01N33/00;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 G01N1/36
代理机构 代理人
主权项
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