WAFER PLACING PLATE,申请号KR19960004203-传众专利搜索

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发明名称	WAFER PLACING PLATE
摘要
申请公布号	KR100213194(B1)	申请公布日期	1999.08.02
申请号	KR19960004203	申请日期	1996.02.22
申请人	SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD.	发明人	JANG, HYUN-BOK;KIM, SANG-CHO
分类号	H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
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