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发明名称 METHOD FOR PLANNING OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100212004(B1) 申请公布日期 1999.08.02
申请号 KR19960009073 申请日期 1996.03.29
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO., LTD 发明人 AN, KI-CHEOL;LEE, SEUNG-MU
分类号 H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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