发明名称 METHOD FOR FORMING POLYSILICON LAYER OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100214840(B1) 申请公布日期 1999.08.02
申请号 KR19950054384 申请日期 1995.12.22
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 BACK, JUNG-KWON
分类号 H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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