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发明名称 METHOD FOR DETECTING MICRO FOREIGN MATERIAL AND THE APPARATUS FOR DETECTING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100213595(B1) 申请公布日期 1999.08.02
申请号 KR19970026644 申请日期 1997.06.24
申请人 MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 FUJINO, NAOHIKO;KOBAYASHI, JUNJI
分类号 G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;G06T7/00;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
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