发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100213412(B1) 申请公布日期 1999.08.02
申请号 KR19950009886 申请日期 1995.04.22
申请人 NIPPON ELECTRIC K.K. 发明人 JAN, KKAN MASANOBU
分类号 H01L21/285;C23C16/14;C23C16/54;H01L21/28;H01L21/768;H01L29/40;(IPC1-7):H01L21/285 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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