发明名称 METHOD AND COMPOSITION FOR REMOVING PHOTOSENSITIVE RESIN ON THE WAFER
摘要
申请公布号 KR100213292(B1) 申请公布日期 1999.08.02
申请号 KR19960059479 申请日期 1996.11.29
申请人 DAEWOO ELECTRONICS CO.,LTD 发明人 PARK, SOO-GYUN
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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