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发明名称
METHOD FOR FORMING POLYCIDE GATE
摘要
申请公布号
KR100213228(B1)
申请公布日期
1999.08.02
申请号
KR19960080113
申请日期
1996.12.31
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD.
发明人
LEE, CHUNG-HO;JANG, WOON-HEE;BAE, GI-SOON;CHO, YONG-SOO
分类号
H01L21/337;(IPC1-7):H01L21/337
主分类号
H01L21/337
代理机构
代理人
主权项
地址
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