发明名称 METHOD FOR FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 KR100212719(B1) 申请公布日期 1999.08.02
申请号 KR19950029753 申请日期 1995.09.13
申请人 ORION ELECTRIC CO., LTD. 发明人 GU, BON-HEE;KWEON, HYUK-CHAE
分类号 H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利