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发明名称
METHOD FOR FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号
KR100212719(B1)
申请公布日期
1999.08.02
申请号
KR19950029753
申请日期
1995.09.13
申请人
ORION ELECTRIC CO., LTD.
发明人
GU, BON-HEE;KWEON, HYUK-CHAE
分类号
H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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