发明名称 PLANATION METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100214844(B1) 申请公布日期 1999.08.02
申请号 KR19960024511 申请日期 1996.06.27
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 PARK, MIN-KYU;KIM, CHUN-SOO
分类号 H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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