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发明名称
CHIP ALIGNMENT APPARATUS
摘要
申请公布号
KR100214013(B1)
申请公布日期
1999.08.02
申请号
KR19950050801
申请日期
1995.12.15
申请人
HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD
发明人
KIM, YONG-HYUN
分类号
H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
地址
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