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发明名称 CHEMICALLY AMPLIFIED POSITIVE RESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 KR100212928(B1) 申请公布日期 1999.08.02
申请号 KR19950015295 申请日期 1995.06.10
申请人 NIPPON TELEGRAPH AND TELEPHONE CORP.(NT&T);SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 发明人 WATANABE, SATOSHI;OIKAWA, KATSUYUKI;ISHIHARA, TOSHINOBU;TANAKA, HARUYORI;MASUDA, TADAHITO;KAWAI, YOSHIO
分类号 G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/039 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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