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发明名称 WAFER TRANSFER APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100212700(B1) 申请公布日期 1999.08.02
申请号 KR19960023021 申请日期 1996.06.22
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 KIM, JONG-HYUN;PARK, JIN-HO;KIM, JONG-MYOUNG;PARK, SHIN-HYUN
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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