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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100214766(B1) 申请公布日期 1999.08.02
申请号 KR19960048200 申请日期 1996.10.25
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 KOIKE, HIDETOSHI
分类号 H01L21/762;H01L21/322;H01L21/8238;(IPC1-7):H01L21/78 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
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