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发明名称 APPARATUS FOR COATING RESIST ON SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR100212023(B1) 申请公布日期 1999.08.02
申请号 KR19960017656 申请日期 1996.05.23
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 MONOTA, KIMIO;DATEYAMA, KIYOHISA;ANAI, NORIYOUKI
分类号 B05C11/08;G03F7/16;(IPC1-7):G02F1/13 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
主权项
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