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发明名称 Verfahren zur Verringerung einer räumlichen energiedispersiven Streuung eines Elektronenstrahlenbündels und eine für den Einsatz eines solchen Verfahrens geeignete Elektronenstrahlvorrichtung
摘要
申请公布号 DE69322890(T2) 申请公布日期 1999.07.29
申请号 DE19936022890T 申请日期 1993.02.04
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V., EINDHOVEN, NL 发明人 VAN DER MAST, KAREL DIEDERICK, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL
分类号 G01Q30/06;G01Q30/20;H01J37/05;H01J37/06;H01J37/26;(IPC1-7):H01J37/05 主分类号 G01Q30/06
代理机构 代理人
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