| 发明名称 |
Kapazitiver Druckwandler mit Rückkopplung durch eine elektrostatische Kraft und Verfahren zur Profilsteuerung des Messelementes im Wandler |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69414783(T2) |
申请公布日期 |
1999.07.29 |
| 申请号 |
DE19946014783T |
申请日期 |
1994.08.17 |
| 申请人 |
VAISALA OY, HELSINKI, FI |
发明人 |
RYHANEN, TAPANI, SF-00270 HELSINKI, FI |
| 分类号 |
G01L9/12;G01D5/241;G01L9/00;G01L11/00;G01P15/13;G05B6/02;H01L41/09;(IPC1-7):G01L11/00;G01D3/06 |
主分类号 |
G01L9/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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