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发明名称 NOVEL COPOLYMER FOR PHOTORESIST
摘要
申请公布号 KR100211546(B1) 申请公布日期 1999.08.02
申请号 KR19960047901 申请日期 1996.10.24
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO., LTD 发明人 CHUNG, JAE CHANG;BOK, CHUL KYU;KIM, HYUNG KI
分类号 C08F8/30;C08F20/04;C08F20/12;C08F22/40;G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 C08F8/30
代理机构 代理人
主权项
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