在半导体制造设备控制系统中控制设备单元状态的方法

摘要

一种在半导体制造设备控制系统中对设备单元状态进行控制的方法,其中,用于检测单元状态变化的预定单元状态变化监视模块包括在主机中。通过单元状态变化监视模块实时地识别和控制单元状态的变化。结果,可以防止存储于主机的单元状态数据与实际的单元状态数据之间的不一致。通过主机可以准确地控制设备。可以准确地控制设备整体生产率。即使通过主机间接计算作业也可以改变设备状态,从而可以明显提高设备控制上的整体效率。

主权项

1．一种在半导体制造设备控制系统中对设备各单元状态进行控制的方法，包括以下步骤：当所述单元中发生预定的状态变化时，从所述设备接收单元的实际单元状态数据；第一次从存储于数据库的状态数据中搜索对应于所述单元的存储的单元状态数据；对比所述实际的单元状态数据和所述存储的单元状态数据，并确定所述实际单元状态数据中是否发生预定的变化；以及如果确定所述实际的单元状态数据中未发生所述预定变化，则继续接收所述实际的单元状态数据，如果确定所述实际的单元状态数据中发生了所述预定变化，则根据所述实际的单元状态数据的所述内容第一次更新所述存储的单元状态数据的所述内容。