发明名称 粘合片材
摘要 本发明涉及一种用于半导体晶片加工的粘合片材,所述粘合片材由剥离衬、粘合剂层和基膜组成,它们按上述顺序叠层,该粘合片材具有大的长度,并被折叠成之字形,且每一段的长度相同,使各段都精确地相互叠加在一起。
申请公布号 CN1224238A 申请公布日期 1999.07.28
申请号 CN99100322.5 申请日期 1999.01.20
申请人 琳得科株式会社 发明人 松本正利;小池贡;丸桥仁;峰浦芳久
分类号 H01L21/68;B65D85/86;C09J7/02 主分类号 H01L21/68
代理机构 永新专利商标代理有限公司 代理人 过晓东
主权项 1、一种用于半导体晶片加工的粘合片材,所述粘合片材由剥离衬、粘合剂层和基膜组成,它们按上述顺序叠层,该粘合片材具有大的长度,并被折叠成之字形,且每一段的长度相同,使各段都精确地相互叠加在一起。
地址 日本东京