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发明名称
摘要
申请公布号 JP2927116(B2) 申请公布日期 1999.07.28
申请号 JP19920220770 申请日期 1992.07.27
申请人 MURATA SEISAKUSHO KK 发明人 HORI KENJI
分类号 G01J1/02;H01L23/02;H01L37/02;(IPC1-7):G01J1/02 主分类号 G01J1/02
代理机构 代理人
主权项
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