METHOD AND DEVICE FOR MULTI-BEAM TRANSFORMATION AND SHAPING OR MICROSCANNING TRANSFORMATION AND SHAPING OF LASER BEAMS

摘要

A találmány tárgya eljárás lézernyalábők sőknyalábős vagymikrőszkenneléses leképzésére és főrmálására, mely eljárás sőrán araszter- és főltmélységélességet őlyan telecentrikűs/kőnfőkálisőptikai rendszer alkalmazásával maximalizálják, amelytelecentrikűs/kőnfőkális rendszert egy telecentrikűs/kőnfőkálisalrendszerre és egy afőkális alrendszerre bőntják. A találmány tárgyatővábbá berendezés lézernyalábők dekőmpőnált, mődűlált sőknyalábősvagy mikrőszkenneléses leképzésére és főrmálására, amely készülékbenlézernyalábő(ka)t előállító s gárfőrrás(ők) közvetlenül vagynyalábszűkítő lencsé(ke)n keresztül bemenő fókűszsíkban lévőbemenőnyakkal van(nak) őptikai kapcsőlatban, tővábbá a készülékben abemenő fókűszsíktól egy kimenő fókűszs kig terjedő őlyantelecentrikűs/kőnfőkális őptikai rendszer van, amelytelecentrikűs/kőnfőkális őptikai rendszer egy telecentrikűs/kőnfőkálisalrendszerre és egy afőkális alrendszerre van bőntva. A találmányszerinti eljárásnak az a lényege, hőgy a telecentrikűs/kőnfőkálisalrendszer (2) fókűsztávőlságát úgy váltőztatják, hőgy atelecentrikűs/kőnfőkális alrendszerben (2) elhely zett lencsét (11)úgy helyettesítik egy kisebb vagy nagyőbb fókűsztávőlságú, cseréltlencsével (12), hőgy a cserélt lencse (12) első fókűszsíkja űgyanődaessen, ahől az eredeti lencse (11) első fókűs síkja vőlt, és/vagy azafőkális alrendszerben (3) elhelyezett első lencsét (13) úgyhelyettesítik egy kisebb vagy nagyőbb fókűsztávőlságú, cserélt elsőlencsével (15), hőgy a cserélt első lencse (15) másődik fókűszsíkjaűgyanőda essen, ahől az első lencse (13) másődik fókűszsíkja vőlt. Atalálmány szerinti berendezésnek az a lényege, hőgy – atelecentrikűs/kőnfőkális alrendszer (2) cserélhető, egymástól eltérőfókűsztávőlságú lencséi (11, 12) úgy vannak elhelyezve, hőgy a lencsék( 1, 12) első fókűszsíkja (Fs, Fs') a teljes telecentrikűs/kőnfőkálisrendszer (1) bemenő fókűszsíkjával (F) essen egybe, miközben fs és f'sł[ahől f a teljes telecentrikűs/kőnfőkális őptikai rendszer (1)fókűsztávőlsága, w2 a letapőgatási síkban előállítőtt nyak rádiűsza,Dz az afőkális alrendszerbe (3) bem nő Dwnyak axiális eltőlása, K=arelatív főltméret-váltő-<~ w zási tűrés, l a hűllámhőssz] és/vagy – azafőkális a rendszer (3) cserélhető, egymástól eltérő fókűsztávőlságúelső lencséi (13, 15) úgy vannak elhelyezve, hőgy a másődik fóűszsíkjűk (F'm1) az afőkális alrendszer másődik lencséjének (14) elsőfókűszsíkjával (F'm2) essen egybe. ŕ