| 发明名称 |
Stelsel voor het behandelen van wafers. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL1008143(C2) |
申请公布日期 |
1999.07.28 |
| 申请号 |
NL19981008143 |
申请日期 |
1998.01.27 |
| 申请人 |
ASM INTERNATIONAL N.V. |
发明人 |
BOUDEWIJN GIJSBERT SLUIJK;CHRISTIANUS GERARDUS MARIA DE RIDDER |
| 分类号 |
B65G49/07;H01L21/22;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
B65G49/07 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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