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发明名称
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申请公布号 JP2927244(B2) 申请公布日期 1999.07.28
申请号 JP19960182250 申请日期 1996.07.11
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 KAWADA MASAHITO
分类号 H01L21/8247;H01L21/265;H01L21/336;H01L27/115;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/824 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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