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发明名称 Method of plasma etching
摘要
申请公布号 GB2321765(B) 申请公布日期 1999.07.28
申请号 GB19980002082 申请日期 1998.01.30
申请人 * NEC CORPORATION 发明人 MASAHIKO * OUCHI
分类号 H05H1/46;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01J37/32;H01L21/321 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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