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发明名称 A DEVICE FOR EPITAXIALLY GROWING OBJECTS AND METHOD FOR SUCH A GROWTH
摘要
申请公布号 EP0931186(A1) 申请公布日期 1999.07.28
申请号 EP19970944244 申请日期 1997.09.25
申请人 ABB RESEARCH LTD.;OKMETIC LIMITED 发明人 KORDINA, OLLE;ELLISON, ALEX;GU, CHUN-YUAN;JANZ N, ERIK;HALLIN, CHRISTER;TUOMINEN, MARKO
分类号 C30B25/02;C30B25/14;(IPC1-7):C30B25/14 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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