VACUUM DEPOSITION DEVICE,申请号JP19980017909-传众专利搜索

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发明名称	VACUUM DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号	JPH11200023(A)	申请公布日期	1999.07.27
申请号	JP19980017909	申请日期	1998.01.13
申请人	TDK CORP	发明人	TAKAI MITSURU;UEDA KUNIHIRO
分类号	C23C14/24;C23C14/30;G11B5/85;(IPC1-7):C23C14/30	主分类号	C23C14/24
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