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发明名称 SUBSTRATE DISCHARGING DEVICE IN VACUUM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11200044(A) 申请公布日期 1999.07.27
申请号 JP19980017904 申请日期 1998.01.13
申请人 TDK CORP 发明人 TAKAI MITSURU;UEDA KUNIHIRO
分类号 C23C14/56;G11B5/85;(IPC1-7):C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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