| 发明名称 |
LIQUID PHASE GROWING APPARATUS HAVING STIRRING FUNCTION, AND GROWTH |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11199376(A) |
申请公布日期 |
1999.07.27 |
| 申请号 |
JP19980004764 |
申请日期 |
1998.01.13 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
UKIYO NORITAKA;TANIGAWA ISAO;SHOJI TATSUMI;IWANE MASAAKI;NISHIDA AKIYUKI;NAKAGAWA KATSUMI |
| 分类号 |
C30B19/00;C30B19/06;C30B29/06;C30B29/40;H01L21/208;(IPC1-7):C30B19/06 |
主分类号 |
C30B19/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
