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发明名称 Displacement type vacuum pump
摘要
申请公布号 EP0811766(A3) 申请公布日期 1999.07.28
申请号 EP19970108724 申请日期 1997.05.30
申请人 EBARA CORPORATION 发明人 YANAGISAWA, KIYOSHI;MATAKE, KOZO;OJIMA, YOSHINORI;HISABE, YASUSHI
分类号 F04C18/16;F04C23/00;F04C25/02;F04C29/00;H02K16/00;(IPC1-7):F04C23/00 主分类号 F04C18/16
代理机构 代理人
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