发明名称
摘要
申请公布号 JP2924359(B2) 申请公布日期 1999.07.26
申请号 JP19910257916 申请日期 1991.10.04
申请人 SEIKOO EPUSON KK 发明人 NANBA TOSHISHIGE
分类号 H01L21/60;H05K3/00;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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