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发明名称
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申请公布号 JP2922958(B2) 申请公布日期 1999.07.26
申请号 JP19900029578 申请日期 1990.02.13
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 TANAKA TSUTOMU;OSHIDA YOSHITADA;FUNATSU RYUICHI
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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