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发明名称
摘要
申请公布号
JP2924821(B2)
申请公布日期
1999.07.26
申请号
JP19960274547
申请日期
1996.10.17
申请人
NIPPON DENKI KK
发明人
HIRAYAMA TAKESHI
分类号
H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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