| 发明名称 |
PROCEDE DE FABRICATION D'UN SILICIURE AUTO-ALIGNE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2763743(B1) |
申请公布日期 |
1999.07.23 |
| 申请号 |
FR19970011068 |
申请日期 |
1997.09.05 |
| 申请人 |
UNITED MICROELECTRONICS CORPORATION |
发明人 |
LIN TONY;LUR WATER;SUN SHIH WEI |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/265;H01L21/336;H01L21/8234;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/336 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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