| 发明名称 |
Conveying apparatus for semiconductor devices |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AU707884(B2) |
申请公布日期 |
1999.07.22 |
| 申请号 |
AU19980087882 |
申请日期 |
1998.10.02 |
| 申请人 |
INNOTECH CORPORATION |
发明人 |
MINORU YOSHIDA;TAKESHI DOI |
| 分类号 |
B65G49/07;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/677;(IPC1-7):B65G49/07;B65G45/00 |
主分类号 |
B65G49/07 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
