Belichtungsvorrichtung,申请号DE19914133037-传众专利搜索

发明名称	Belichtungsvorrichtung
摘要
申请公布号	DE4133037(C2)	申请公布日期	1999.07.22
申请号	DE19914133037	申请日期	1991.10.04
申请人	CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP	发明人	TAKABAYASHI, YUKIO, KAWASAKI, KANAGAWA, JP;TOKUDA, YUKIO, KAWASAKI, KANAGAWA, JP
分类号	G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/22;F16F15/02	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人
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