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发明名称 Vorrichtung zur Vermeidung von Funkenentladungen bei der Herstellung von feinen Leiterstrukturen auf der Oberfläche eines Wafers aus einem pyroelektrischen Material
摘要
申请公布号 DE29905289(U1) 申请公布日期 1999.07.22
申请号 DE1999205289U 申请日期 1999.03.23
申请人 ESTION KG 发明人
分类号 H01L37/02;H01L41/22;H03H3/08;(IPC1-7):H05F3/04;H01L37/00;H01L21/60;H03H9/64 主分类号 H01L37/02
代理机构 代理人
主权项
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