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发明名称 Inspektionsapparat für Halbleiterscheiben
摘要
申请公布号 DE69416771(T2) 申请公布日期 1999.07.22
申请号 DE1994616771T 申请日期 1994.09.06
申请人 RYODEN SEMICONDUCTOR SYSTEM ENGINEERING CORP., ITAMI, HYOGO, JP;MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 NAKASHIGE, YUKIKO, C/O RYODEN SEMICONDUCTOR, ITAMI-SHI, HYOGO, 664, JP;NISHIOKA, TADASHI, C/O RYODEN SEMICONDUCTOR, ITAMI-SHI, HYOGO, 664, JP
分类号 G01B11/30;G01N21/94;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66;G01N21/88;G01N33/00 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
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