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发明名称
Halbleitervorrichtung und Herstellungsverfahren
摘要
申请公布号
DE69323127(T2)
申请公布日期
1999.07.22
申请号
DE19936023127T
申请日期
1993.08.09
申请人
CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP
发明人
MIYAZAWA, SEIICHI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO 146, JP;OHTSUKA, MITSURU, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO 146, JP;MIZUTANI, NATSUHIKO, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO 146, JP
分类号
H01L29/12;H01L29/775;H01L33/16;H01S5/02;H01S5/10;H01S5/12;H01S5/183;H01S5/187;H01S5/30;H01S5/32;H01S5/34;(IPC1-7):H01S3/085;H01S3/19;H01L33/00
主分类号
H01L29/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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