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发明名称 SEMICONDUCTOR WAFER CLEANING DEVICE AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH11195631(A) 申请公布日期 1999.07.21
申请号 JP19970361320 申请日期 1997.12.26
申请人 MITSUBISHI MATERIALS CORP;TECHNO OTE:KK 发明人 KAIDO YOSHIE;KAJIWARA JIRO;HOSOKI KANJI;AKASAKA MASAYO;SUZUKI TAKASHI;KIKUOKA KENICHI
分类号 B08B1/04;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B1/04
代理机构 代理人
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