| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR SEPARATING SAMPLE AND MANUFACTURE OF SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11195563(A) |
申请公布日期 |
1999.07.21 |
| 申请号 |
JP19970361016 |
申请日期 |
1997.12.26 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
YANAGIDA KAZUTAKA;OMI KAZUAKI;SAKAGUCHI KIYOBUMI;YONEHARA TAKAO |
| 分类号 |
H01L21/306;H01L21/02;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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