| 发明名称 |
PRODUCTION OF METALLIC OXIDE THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11193472(A) |
申请公布日期 |
1999.07.21 |
| 申请号 |
JP19970368039 |
申请日期 |
1997.12.29 |
| 申请人 |
KANSAI SHINGIJUTSU KENKYUSHO:KK |
发明人 |
ASAKUMA NAOKO;IMAI HIROAKI |
| 分类号 |
C08J7/06;B01J19/12;C23C18/12;C23C18/14;(IPC1-7):C23C18/12 |
主分类号 |
C08J7/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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