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发明名称 Positive-working photoresist composition
摘要
申请公布号 EP0395049(B1) 申请公布日期 1999.07.21
申请号 EP19900107925 申请日期 1990.04.26
申请人 FUJI PHOTO FILM CO., LTD. 发明人 UENISHI, KAZUYA,;SAKAGUCHI, SHINJI, .;KOKUBO, TADAYOSHI, .
分类号 G03F7/022;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/022 主分类号 G03F7/022
代理机构 代理人
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