半导体制造设备控制系统的配置设备单元状态控制方法

摘要

一种包括主计算机的预定单元监控模块的半导体制造设备控制系统中配置设备的状态控制方法,通过单元监控模块,实时识别设备的单元工作状态,并控制设备,按各设备的实际工作能力对加工件进行加工。结果,能有效控制设备的整个生产力,并按设备的工作能力把待处理的加工件分配进设备中。

主权项

1．在半导体制造设备的控制系统中用于对配置设备的单元的状态进行控制的方法，其特征是，包括以下步骤：接收来自对应于所述设备中各设备的设备服务器的所述设备的工作状态数据；确定所述设备中是否有设备出现不正常单元工作状态数据；如果确定某设备出现不正常单元工作状态数据，确定所述某设备的所有单元是否处于不工作状态；如果确定所述某设备的所有单元均处于不工作状态，则阻截下载到所述某设备的所有加工条件数据；和如果确定所述某设备的所有单元不是处于不工作状态，则识别所述某设备的所有单元中处于不工作状态的单元，并阻截下载到处于不工作状态的所述单元的某些加工条件数据。