发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DISCONNECTION DETECTING EQUIPMENT AND METHOD, AND RECORDING MEDIUM STORING CONTROL PROGRAM THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH11195684(A) 申请公布日期 1999.07.21
申请号 JP19980001259 申请日期 1998.01.07
申请人 NEC CORP 发明人 SUMITOMO HIROSHI;NAKAMURA TOYOICHI
分类号 G01R31/08;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/08
代理机构 代理人
主权项
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